Norm
[AKTUELL]
NF C96-050-6
; NF EN 62047-6:2010-09-01
NF C96-050-6
; NF EN 62047-6:2010-09-01
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 6: Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: axial fatigue testing methods of thin film materials
