Norm [AKTUELL]

ISO 14237
Chemische Oberflächenanalyse - Sekundärionenmassenspektrometrie - Bestimmung der Atomkonzentration von Bor in Silizium unter Verwendung gleichmäßig dotierter Materialien

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 6 - Massenspektroskopien  

Ausgabe 2010-07
Originalsprache Englisch
Preis ab 142,50 €
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