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Norm [AKTUELL]

BS EN 62047-6
Halbleiterbauelemente. Bauelemente der Mikrosystemtechnik. Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit von Dünnschicht-Werkstoffen

Titel (englisch)

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Axial fatigue testing methods of thin film materials

Ausgabe 2010-04-30

Originalsprache Englisch

Preis ab 192,70 €

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