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Norm [AKTUELL]

SN EN 62047-2
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik. Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen

Titel (englisch)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices. Part 2: Tensile testing methods of thin film materials

Ausgabe 2006-09

Originalsprache Deutsch

Preis ab 25,00 €

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