Norm-Entwurf
PR NF E05-031-603
; PR NF EN ISO 25178-603
PR NF E05-031-603
; PR NF EN ISO 25178-603
Geometrische Produktspezifikation (GPS) . Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft . Teil 603 : Merkmale von berührungslos messenden Geräten (der phasenschiebenden interferometrischen Mikroskopie).
Titel (englisch)
Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture : areal - Part 603 : nominal characteristics of non-contact (phase shifting interferometric microscopy) instruments.
