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Technische Regel [AKTUELL]

ISO/TR 16268
Chemische Oberflächenanalyse - Vorschlag für ein Verfahren für die Zertifizierung der zurückbehaltenen Partikel-Fluenz eines durch Ionenimplantation hergestellten Arbeits-Referenzmaterials

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 2 - Allgemeine Verfahren  

Ausgabe 2009-10
Originalsprache Englisch
Preis ab 142,50 €
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Inhaltsverzeichnis

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Steffen Jenkel

Am DIN-Platz, Burggrafenstr. 6
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