Norm [AKTUELL]

ISO 23812
Chemische Oberflächenanalyse - Sekundärionenmassenspektrometrie - Verfahren zur Tiefenkalibrierung für Silicium mit Mehrfach-Delta-Schicht-Bezugswerkstoffen

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 6 - Massenspektroskopien  

Ausgabe 2009-04
Originalsprache Englisch
Preis ab 142,50 €
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