Technische Regel
[AKTUELL]
ISO/TR 22335
ISO/TR 22335
Chemische Analytik an Oberflächen - Tiefenprofilanalyse - Messung der Ionenstrahlzerstäubungs-Geschwindigkeit mittels der Gitter-Kopiermethode mit dem mechanischen Stylus Profilometer
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie