NA 147

DIN-Normenausschuss Qualitätsmanagement, Statistik und Zertifizierungsgrundlagen (NQSZ)

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Norm [AKTUELL]

DIN ISO 15472
Chemische Oberflächenanalyse - Röntgenphotoelektronenspektrometer - Kalibrierung der Energieskala (ISO 15472:2010); Text Englisch

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales (ISO 15472:2010); Text in English

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Kalibrierung der Bindungsenergieskala für Röntgenphotoelektronenspektrometer für allgemeine analytische Zwecke fest, wobei nichtmonochromatische Al- oder Mg-Röntgenstrahlen oder monochromatische Al-Röntgenstrahlen verwendet werden. Das Dokument gilt nur für Geräte mit einer Ionenkanone zum Sputterreinigen. Die Norm legt weiterhin ein Verfahren fest zur Erstellung eines Kalibrierplans, zur Prüfung der Linearität der Bindungsenergieskala bei einer mittleren Energie, zur Bestätigung der Unsicherheit der Skalenkalibrierung bei einem niedrigen und einem hohen Bindungsenergieniveau, zur Korrektur kleiner Skalendrifts und zur Festlegung der erweiterten Unsicherheit der Kalibrierung der Bindungsenergieskala bei einem Vertrauensniveau von 95 %. Diese Unsicherheit schließt Beiträge zum in Ringversuchen beobachteten Verhalten ein, behandelt aber nicht alle möglichen Fehler. Das Dokument gilt nicht für Geräte mit Bindungsenergieskalenfehlern mit signifikant nicht linearer Energie, für Geräte, die im Modus mit konstanter Verzögerungsrate mit Verzögerungsraten kleiner 10 betrieben werden, Geräte mit einer Spektrometerauflösung schlechter als 1,5 keV oder Geräte, die eine Toleranzgrenze von ±0,03 eV erfordern. Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-16 AA ″Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie″ im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).