NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[ZURÜCKGEZOGEN]
ISO 18516
ISO 18516
Chemische Analytik an Oberflächen - Augerelektronen-Spektroskopie und Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie - Bestimmung der lateralen Auflösung
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie