NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[AKTUELL]
ISO 20341
ISO 20341
Chemische Analytik an Oberflächen - Sekundärionenmassenspektrometrie - Methode für die Bestimmung von Parametern der Tiefenauflösung mit Hilfe von Referenzmaterialien mit mehreren Deltaschichten
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie