DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50451-1
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 1: Silber (Ag), Gold (Au), Calcium (Ca), Kupfer (Cu), Eisen (Fe), Kalium (K) und Natrium (Na) in Salpetersäure mittels AAS
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 1: Silver (Ag), gold (Au), calcium (Ca), copper (Cu), iron (Fe), potassium (K) and sodium (Na) in nitric acid by AAS
Änderungsvermerk
a) Anwendungsbereich erweitert auf die Elemente Calcium (Ca), Eisen (Fe), Kalium (K) und Natrium (Na); b) Anwendungsbereich erweitert auf Elementspuren-Massenanteile von 1 ng/g bis 50 ng/g auf 0,1 ng/g bis 50 ng/g; c) Anwendungsbereich erweitert auf andere in der Halbleitertechnologie eingesetzte verdampfbare Flüssigkeiten; d) normative Verweisungen aktualisiert; e) im Abschnitt "Probenahme" niedrigster Metallspuren-Massenanteil des jeweiligen Elementes nach Anreicherung festgelegt; f) maximale Messunsicherheit der Wägung der Teilprobe von 1 % auf 5 % erhöht; g) im Abschnitt "Vorbehandlung der Proben" nach Eindampfen der Teilprobe Erwärmung des Eindampfgefäßes auf 80 °C und anstelle der Zugabe von 50 ml bis 1 000 ml Königswasser 100 µl bis 500 µl Salpetersäure und 50 µl bis 250 µl Salzsäure festgelegt; h) Mindestanzahl der durchzuführenden Messungen je Messlösung von fünf auf drei reduziert; i) Festlegungen zur Kalibrierung präzisiert; j) Abschnitt "Berechnung und Angabe der Ergebnisse" ergänzt; k) im Abschnitt "Präzision des Verfahrens" ermittelte Variationskoeffizienten für Ca, Cu und Fe bei Massenanteilen von 0,5 ng/g bis 1 ng/g ergänzt; l) Festlegungen im Abschnitt "Prüfbericht" präzisiert und ergänzt; m) Literaturhinweise aufgenommen; n) Text redaktionell überarbeitet.
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
