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NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50450-9
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger - und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C₁-C₃-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C₁-C₃-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit  

Ausgabe 2003-04
Originalsprache Deutsch
Preis ab 34,60 €
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Inhaltsverzeichnis

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