NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

ISO 14706
Chemische Analytik an Oberflächen - Bestimmung der Oberflächenkontaminationen auf Silizium-Wafern mit Hilfe der "Total X-Ray Fluorescence Spectroscopy" (TXRF)

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201 - Chemische Oberflächenanalyse

Ausgabe 2000-12

Originalsprache Englisch

Preis ab 70,10 €

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Steffen Jenkel

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