NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[AKTUELL]
ISO 8181
ISO 8181
Atomlagenabscheidung - Terminologie
Titel (englisch)
Atomic layer deposition - Vocabulary
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-64 AA - Kohlenstoffschichten und keramische Hartstoffschichten