DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50989-6
Ellipsometrie - Teil 6: Modell Effektive Materialien; Text Deutsch und Englisch
Ellipsometry - Part 6: Effective Materials model; Text in German and English
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d von Schichten effektiver Materialien sowie deren optischen (N) beziehungsweise dielektrischen (ε) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Effektive Materialien fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
