DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50989-5
Ellipsometrie - Teil 5: Modell Mehrfachschichten und periodische Schichten; Text Deutsch und Englisch
Ellipsometry - Part 5: Multiple layers and periodic layers model; Text in German and English
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Gesamtschichtdicke dt des Schichtsystems und der Schichtdicken di von Einzelschichten in Mehrfachschicht- beziehungsweise periodischen Schichtsystemen sowie deren optischen (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) beziehungsweise dielektrischen (RealTeil ε1 und ImaginärTeil ε2) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Mehrfachschichten und periodische Schichten fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Dokument: zitiert andere Dokumente
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
