DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN EN ISO 23131
Ellipsometrie - Grundlagen (ISO 23131:2021); Deutsche Fassung EN ISO 23131:2022
Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021); German version EN ISO 23131:2022
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument ist anzuwenden für das Messverfahren Ellipsometrie, einem Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken, im Bereich der at-line Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung, der Materialentwicklung, akkreditierter Prüflaboratorien jeweils vorzugsweise für stand-alone Messsysteme unter besonderer Berücksichtigung einer GUM-konformen Angabe von Ergebnisunsicherheit. Dieses Dokument (EN ISO 9220:2022) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 107 „Metallic and other inorganic coatings“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 262 „Metallische und andere anorganische Überzüge, einschließlich des Korrosionsschutzes und der Korrosionsprüfung von Metallen und Legierungen“ erarbeitet, dessen Sekretariat von BSI (Vereinigtes Königreich) gehalten wird. Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA „Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme“ im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN 50989-1:2018-03 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Übernahme als DIN EN ISO 23131; b) redaktionelle Anpassung an DIN 820-2.
Dokument: zitiert andere Dokumente
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination