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  3. Normenausschüsse
  4. NMP
NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [AKTUELL]

ISO 17109
Surface chemical analysis - Depth profiling - Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Depth profiling - Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 4 - Untersuchungen an Tiefenprofilen  

Ausgabe 2022-03
Originalsprache Englisch
Preis ab 142,50 €
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