DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50989-3
Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch
Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model; Text in German and English
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ε<(index)1>) Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k = 0 gilt, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Dokument: zitiert andere Dokumente
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
