NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm [AKTUELL]

DIN 50450-9
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C₁-C₃-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C₁-C₃-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung des Stoffmengenanteils an Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff aus der Gasphase fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-05-73 AA "Gasanalyse und Gasbeschaffenheit" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN 50450-9:2003-04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Anwendungsbereich mit Prüfung auf Einhaltung einer Produktspezifikation erweitert; b) früherer Abschnitt 2 "Einheiten" entfallen; c) Abschnitt 3 "Begriffe" aufgenommen; d) zweiten Absatz in Abschnitt 4 (früherer Abschnitt 3) zum alternativen Verfahren aufgenommen; e) früherer Abschnitt 9 "Präzision des Verfahrens" entfallen; f) Anhang A aufgenommen; g) Dokument redaktionell überarbeitet.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit  

Ausgabe 2021-07
Originalsprache Deutsch
Preis ab 42,10 €
Inhaltsverzeichnis

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