NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[AKTUELL]
DIN ISO 18516
DIN ISO 18516
Chemische Oberflächenanalyse - Augerelektronen-Spektroskopie und Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie - Bestimmung der lateralen Auflösung (ISO 18516:2019); Text Englisch
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometers to micrometers (ISO 18516:2019); Text in English
Einführungsbeitrag
Diese Internationale Norm beschreibt Verfahren zur Messung der lateralen Auflösung und Schärfe bei bildgebender chemischer Oberflächenanalyse. Das zuständige nationale Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-16 AA "Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
