2. Mitwirken
  3. Normenausschüsse
  4. NMP
NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [AKTUELL]

ISO 21466
Mikrobereichsanalyse - Rasterelektronenmikroskopie - Verfahren zur Bewertung kritischer Maße durch CD-SEM

Titel (englisch)

Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-18 AA - Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 202/SC 4 - Rasterelektronenmikroskopie  

Ausgabe 2019-12
Originalsprache Englisch
Preis ab 190,80 €
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