DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN EN ISO 14644-3
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 3: Prüfverfahren (ISO 14644-3:2019, korrigierte Fassung 2020-06); Deutsche Fassung EN ISO 14644-3:2019
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2019, Corrected version 2020-06); German version EN ISO 14644-3:2019
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument umfasst Prüfverfahren zur Unterstützung des Betriebs für Reinräume und reine Bereiche, im Hinblick auf die Erfüllung von Luftreinheitsklassifizierungen, weiteren Reinheitsattributen und zugehörigen geregelten Bedingungen. Es werden Leistungsprüfungen für zwei Arten von Reinräumen und reinen Bereichen festgelegt, solche mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung und solche mit turbulenter Mischströmung. Es werden drei Betriebszustände betrachtet: Bereitstellung, Leerlauf, Fertigung. Die Prüfverfahren, empfohlenen Prüfgeräte und Prüfverfahren zur Bestimmung von Kenngrößen für die Leistung werden angegeben. An Stellen, an denen das Prüfverfahren durch die Art des Reinraums oder reinen Bereichs beeinflusst wird, werden alternative Verfahren vorgeschlagen. Für einige Prüfungen werden mehrere unterschiedliche Verfahren und Geräte empfohlen, so dass verschiedenen Nutzungsarten Rechnung getragen werden kann. Soweit zwischen Kunden und Lieferanten vereinbart, können alternative, nicht in diesem Dokument beschriebene Verfahren angewendet werden. Solche Verfahren liefern nicht zwingend gleichwertige Messungen. Dieses Dokument ist nicht auf die Messung von Produkten oder Prozessen in Reinräumen, reinen Bereichen oder SD-Modulen anwendbar.
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN EN ISO 14644-3:2006-03 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Abschnitt B.7 wurde vereinfacht und korrigiert, um auf Bedenken zu dessen Komplexität einzugehen und erkannte Fehler zu beheben; b) die Leitlinien bezüglich der Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Konzentration luftgetragener Partikel wurde in ISO 14644-1 verschoben; c) der Text im gesamten Dokument wurde überarbeitet oder verdeutlicht, um die Anwendung zu erleichtern.
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 243 - Reinraumtechnologie
