NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[AKTUELL]
ISO 14701
ISO 14701
Chemische Oberflächenanalyse - Röntgenphotoelektronenspektroskopie - Messung der Siliziumoxiddicke
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectroscopy - Measurement of silicon oxide thickness
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
Zuständiges internationales Arbeitsgremium
ISO/TC 201/SC 7/WG 2 - Quantifizierung und Interpretation der Daten bei der Elektronenspektroskopie
