DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN EN ISO 14644-14
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO 14644-14:2016); Deutsche Fassung EN ISO 14644-14:2016
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016); German version EN ISO 14644-14:2016
Einführungsbeitrag
Diese Norm verbindet die Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration des Reinraums mit der Tauglichkeit von Geräten für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. In dieser Norm wird eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (zum Beispiel Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten, Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 festgelegt. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644 1 angegeben).
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)
