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  3. Normenausschüsse
  4. NMP
NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [AKTUELL]

ISO 13083
Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondenmikroskopie - Standards zur Definition und Kalibrierung der räumlichen Auflösung von Rasterausbreitungswiderstandsmikroskopie und Rasterkapazitätsmikroskopie

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 9/WG 6 - Anwendung von ESPM  

Ausgabe 2015-08
Originalsprache Englisch
Preis ab 106,30 €
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