DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN ISO 15632
Mikrobereichsanalyse - Ausgewählte instrumentelle Performanceparameter zur Spezifizierung und Überprüfung engergiedispersiver Röntgenspektrometer für die Anwendung in der Elektronenstrahl-Mikrobereichsanalyse (ISO 15632:2012)
Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis (ISO 15632:2012)
Einführungsbeitrag
Diese Norm definiert die wichtigsten Mengen, die ein energiedispersives Röntgenspektrometer bestehend aus einem Halbleiter-Detektor, einem Vorverstärker und einer signalverarbeitenden Einheit als wichtigste Bestandteile charakterisieren. Diese Norm gilt nur für Spektrometer mit Halbleiterdetektoren, die mit dem Prinzip der Festkörperionisierung arbeiten. Diese Norm legt Mindestanforderungen fest und wie relevante instrumentelle Leistungsparameter bei solchen Spektrometern, die an ein Rasterelektronenmikroskop (REM) oder ein Elektronensondenmikroanalysengerät (EPMA) angebracht sind, überprüft werden müssen. Das für die eigentliche Analyse verwendete Verfahren ist in ISO 22309 und ASTM E15108 beschrieben. Das zuständige deutsche Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA "Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-18 AA - Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse
