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NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50451-3
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Metallspuren in Flüssigkeiten - Teil 3: Aluminium (Al), Kobalt (Co), Kupfer (Cu), Natrium (Na), Nickel (Ni), Zink (Zn) in Salpetersäure mittels ICP-MS

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of metals in liquids - Part 3: Al, Co, Cu, Na, Ni and Zn in nitric acid with ICP-MS

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie  

Ausgabe 1994-10
Originalsprache Deutsch
Preis ab 34,60 €
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