NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Technische Regel
[AKTUELL]
DIN SPEC 52407
DIN SPEC 52407
Nanotechnologien - Methoden zur Präparation und Auswertung für Partikelmessungen mit Rasterkraftmikroskopie (AFM) und Rasterelektronenmikroskopie im Transmissionsmodus (TSEM)
Titel (englisch)
Nanotechnologies - Methods for preparation and assessment for particle measurements with atomic force microscopy (AFM) and transmission scanning electron microscopy (TSEM)
Verfahren
Fachbericht
Einführungsbeitrag
Diese DIN SPEC beinhaltet eine Methodensammlung zur sicheren und reproduzierbaren Präparation von eng verteilten Referenz-Nanopartikeln auf ebenen Flächen sowie deren Größenmessung und Auswertung.
Die beschriebenen Verfahren sind anwendbar auf die Präparation und Untersuchung einzelner oder an Ketten aneinander liegender Partikel sowie Monolagenschichten im Größenbereich unter 1 µm.
Für diese Norm ist das Gremium NA 062-08-17-02 UA "Prüfverfahren" im DIN zuständig.
