DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50451-6
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 6: Bestimmung von 36 Elementen in hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung (NH₄F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid-Lösung mit Flusssäure
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH₄F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution containing hydrofluoric acid
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt Verfahren zur Bestimmung der Elemente Ag, Al, As, Au, Ba, Be, Bi, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, Ga, Ge, In, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Nb, Ni, Pb, Pt, Rb, Sb, Sn, Sr, Ti, Tl, V, W, Zn und Zr in Ammoniumfluorid Lösung (NH4F) und Ätzmischungen aus hochreiner Ammoniumfluorid Lösung mit Flusssäure im Spurenbereich fest, wobei als Bestimmungsmethode die Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP MS) eingesetzt wird.
Die Verfahren gelten für Elementspuren Massenanteile von 100 ng/kg bis 10 000 ng/kg, je nach Anreicherung der Analyten.
Das Verfahren ohne Probenanreicherung ist anwendbar für: Ag, Al, Ba, Bi, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, Ga, Ge, In, K, Li, Mg, Mn, Mo, Ni, Pb, Sb, Sn, Sr, Ti, V und Zr. Für Na, Pt, Tl liegt nur ein Datensatz vor.
Das Verfahren mit Probenanreicherung ist anwendbar für: Ag, Al, Au, Ba, Be, Bi, Ca, Cd, Co, Cr, Cu, Fe, Ga, In, K, Li, Mg, Mn, Mo, Na, Nb, Ni, Pb, Pt, Rb, Sn, Sr, Ti, Tl, V, W, Zn und Zr. Für As liegt nur ein Datensatz vor.
Diese Norm kann auch für weitere Elemente angewendet werden, sofern die für diese Elemente ermittelten statistischen Verfahrenskenndaten den Anforderungen aus Abschnitt 12 entsprechen.
Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
