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NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [AKTUELL]

DIN 50450-4
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C₁-C₃-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C₁-C₃-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit  

Ausgabe 1993-09
Originalsprache Deutsch
Preis ab 34,60 €
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Inhaltsverzeichnis

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