NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[ZURÜCKGEZOGEN]
ISO 16531
ISO 16531
Chemische Oberflächenanalyse - Tiefenprofilanalyse - Verfahren zur Ionenstrahljustierung und die damit verbundene Messung des Stroms oder der Stromdichte für Tiefenprofilanalyse mit AES und XPS
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Depth profiling - Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie