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NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Über NMP Aktuelles Projekte Entwürfe Veröffentlichungen Ersatzlose Zurückziehungen Nationale Gremien Europäische Gremien Internationale Gremien

Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50455-1
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken; Bestimmung der Schichtdicke mit optischen Meßmethoden

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology; methods for characterizing photoresists; determination of coating thickness with optical methods

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie

Ausgabe 1991-06

Originalsprache Deutsch

Preis ab 34,60 €

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Inhaltsverzeichnis

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