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NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [AKTUELL]

DIN 50450-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Meßzelle

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N₂, Ar, He, Ne and H₂ by using a galvanic cell

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit  

Ausgabe 1991-03
Originalsprache Deutsch
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