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NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50452-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Verfahren zur Teilchenanalytik in Flüssigkeiten; Teilchenbestimmung mit optischen Durchflußpartikelzählern

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology; test method for particle analysis in liquids; determination of particles with optical particle counters

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie  

Ausgabe 1991-03
Originalsprache Deutsch
Preis ab 34,60 €
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