NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[ZURÜCKGEZOGEN]
DIN 50453-1
DIN 50453-1
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der Ätzraten von Ätzmischungen; Silicium-Einkristalle; Gravimetrisches Verfahren
Titel (englisch)
Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
