NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[AKTUELL]
ISO 12406
ISO 12406
Chemische Oberflächenanalyse - Sekundärionenmassenspektroskopie - Verfahren zur Tiefenprofilanalyse von Arsen in Silicium
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of arsenic in silicon
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie