NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm [AKTUELL]

ISO 12406
Chemische Oberflächenanalyse - Sekundärionenmassenspektroskopie - Verfahren zur Tiefenprofilanalyse von Arsen in Silicium

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of arsenic in silicon

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 6 - Massenspektroskopien  

Ausgabe 2010-11
Originalsprache Englisch
Preis ab 106,30 €
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Steffen Jenkel

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