DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50451-5
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Elementspuren in Flüssigkeiten - Teil 5: Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und Prüfung ihrer Eignung für Geräte zur Probenahme und Probenvorbereitung für die Elementspuren-Bestimmung im Bereich von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 5: Guideline for the selection of materials and testing of their suitability for apparatus for sampling and sample preparation for the determination of trace elements in the range of micrograms per kilogram and nanograms per kilogram
Einführungsbeitrag
Diese Norm ist eine Leitlinie zur Auswahl von Werkstoffen und zur Prüfung ihrer Eignung für Geräte zur Probennahme und Probenvorbereitung, die für die Bestimmung von Verunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleitertechnologie eingesetzt werden. Sie gilt für Bestimmungen von Elementspuren in den Bereichen von Mikrogramm je Kilogramm und Nanogramm je Kilogramm.
Der Bedarf an der Leitlinie liegt darin begründet, dass zur Produktion höchstintegrierter Schaltkreise hochreine Chemikalien verwendet werden. Die Verunreinigung durch einzelne Elemente liegt oft innerhalb eines typischen Bereichs von 0,01 µg/kg bis 0,5 µg/kg. Für die analytische Untersuchung dieser hochreinen Chemikalien ist es notwendig, probenberührende Werkstoffe und Gerätekomponenten zu definieren, die keine signifikante Verunreinigung oder Veränderung der Proben bewirken.
Die Norm wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozesschemikalien für die Halbleitertechnologie" im NMP erstellt.
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
