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NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Über NMP Aktuelles Projekte Entwürfe Veröffentlichungen Ersatzlose Zurückziehungen Nationale Gremien Europäische Gremien Internationale Gremien

Norm [AKTUELL]

ISO 23812
Chemische Oberflächenanalyse - Sekundärionenmassenspektrometrie - Verfahren zur Tiefenkalibrierung für Silicium mit Mehrfach-Delta-Schicht-Bezugswerkstoffen

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 6 - Massenspektroskopien

Ausgabe 2009-04

Originalsprache Englisch

Preis ab 142,50 €

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Inhaltsverzeichnis

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