NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Projekt
Atomic Layer Deposition-- Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
Beginn
2024-05-24
Geplante Dokumentnummer
ISO/CD 19383
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme