NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm-Entwurf
[NEU]
ISO/DIS 23131-3
ISO/DIS 23131-3
Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht
Titel (englisch)
Ellipsometry - Part 3: Transparent single layer model
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme