DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS)
DIN 32564-1
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik
Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology
Einführungsbeitrag
Die Normenreihe DIN 32564 wurde vom Arbeitsausschuss "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" im NAFuO erstellt.
Sie soll Begriffe in dem Gebiet Mikrosystemtechnik klären. Es ist beabsichtigt, die Normenreihe regelmäßig zu aktualisieren, um sie den Bedürfnissen von Kunden und Herstellern von Fertigungsmitteln für die Mikrosystemtechnik anzupassen. Zusätzlich hierzu ist vorgesehen, Begriffe aus anderen Normen, in denen die Mikrosystemtechnik behandelt wird, aufzunehmen.
Teil 1 soll dazu dienen, durch Festlegung einer einheitlichen Begriffsbildung die Verständigung über technische Inhalte in der Fertigung von Mikrosystemen zu erleichtern. In Teil 2 werden Begriffe für die Basistechnologien zur Herstellung von Mikrosystemen festgelegt, während in Teil 3 Begriffe der Handhabung, der Lagerung und des Transportes von Mikrosystemen zu finden sind.
