2. Mitwirken
3. Normenausschüsse
4. NHRS

DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS)

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen anwendbar, wie zum Beispiel Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsflächen, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte. Für die Anwendung dieses Dokuments werden nur die chemischen Eigenschaften eines Partikels in Betracht gezogen. Die physikalischen Eigenschaften des Partikels werden nicht berücksichtigt, und dieses Dokument behandelt nicht die Wechselwirkung zwischen der Kontamination und der Oberfläche. Dieses Dokument behandelt weder den Entstehungsprozess der Kontamination noch zeitabhängige Einflüsse (zum Beispiel Ablagerung, Sedimentation, Alterung) oder prozessabhängige Tätigkeiten wie zum Beispiel Transport und Handhabung. Auch enthält es keine Leitlinien zu statistischen Qualitätskontrollverfahren zur Sicherstellung der Übereinstimmung.

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN EN ISO 14644-10:2013-06 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) der Begriff "Klasse" ("Klassifizierung", "klassifiziert") wurde in "Stufe" (bzw. "Bewertung") geändert, wo angebracht; b) ISO 14644-1 wurde von Abschnitt 2 ins Literaturverzeichnis verschoben und ISO 14644-6 wurde entfernt (Dokument zurückgezogen); c) geringfügige redaktionelle Änderungen.

Dokument: zitiert andere Dokumente

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 243 - Reinraumtechnologie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 209 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche