DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS)
ISO 14644-14
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)
Zuständiges internationales Arbeitsgremium
ISO/TC 209/WG 11 - Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Produktionsanlagen und Werkstoffen