DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS)
DIN 50452-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Teilchenanalytik in Flüssigkeiten - Teil 2: Teilchenbestimmung mit optischen Durchflusspartikelzählern
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 2: Determination of particles by optical particle counters
Einführungsbeitrag
In dieser Norm ist ein Verfahren zur Bestimmung der Anzahlkonzentration von Partikeln in Flüssigkeiten mittels automatischer Durchfluss-Partikelmessgeräte festgelegt. Das festgelegte Verfahren arbeitet nach der Laser-Streulicht-Methode und erlaubt, sowohl Partikelgrößen-Messungen durchzuführen als auch die gemessenen Partikel in bestimmten Partikelgrößen-Bereichen zu zählen. Die Norm gilt für in der Halbleitertechnologie übliche Flüssigchemikalien mit Partikelgrößen von 0,1 µm und größer.
DIN 50452-2 wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozesschemikalien für die Halbleitertechnologie" im NMP erarbeitet.
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN 50452-2:1991-03 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Anwendungsbereich auf Partikelgrößen ab 0,1 µm gegenüber 0,3 µm geändert; b) normative Verweisungen aktualisiert; c) Beruhigungszeit von mindestens 30 min bei Vorbehandlung der Proben gestrichen und ersetzt durch Festlegung eines Vorversuches; d) Richtwert für Teilchenbestimmung der Spülflüssigkeit gestrichen und ersetzt durch Festlegung einer maximalen Partikelanzahl Konzentration; e) Festlegung zur Partikelgrößen-Kalibrierung aufgenommen; f) Inhalt redaktionell überarbeitet.
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
