NA 041
DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS)
Technische Regel
[AKTUELL]
VDI 2083 Blatt 13.2
VDI 2083 Blatt 13.2
Reinraumtechnik - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Mikroelektronik und andere technische Anwendungen
Titel (englisch)
Cleanroom technology - Quality, production and distribution of ultrapure water - Microelectronics and other technical applications