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NA 152

DIN-Normenausschuss Technische Grundlagen (NATG)

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Norm [AKTUELL]

DIN 50450-1
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung der Wasserverunreinigung in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mittels einer Diphosphorpentoxidzelle

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of water impurity in hydrogen, oxygen, nitrogen, argon and helium by using a diphosphorus pentoxide cell

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit  

Ausgabe 1987-08
Originalsprache Deutsch
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