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DIN-Normenausschuss Maschinenbau (NAM)

Einführungsbeitrag

In diesem Teil von ISO 21360 werden drei Verfahren zur Messung des Volumenstroms festgelegt sowie jeweils ein Verfahren zur Messung von Basisdruck, Kompressionsverhältnis und kritischem Vorvakuumdruck einer Vakuumpumpe. Das erste Verfahren zur Messung des Volumenstroms (das Durchflussverfahren) ist das Grundkonzept und basiert darauf, dass während des Einlasses eines stationären Gasstroms in die Pumpe der Ansaugdruck gemessen wird. In der Praxis kann sich die Messung des pV-Durchflusses als kompliziert oder ungenau erweisen. Aus diesem Grund werden zwei weitere Verfahren festgelegt, mit denen die direkte Messung des pV-Durchflusses umgangen wird. Das zweite Verfahren zur Messung des Volumenstroms (das Blendenverfahren) wird verwendet, wenn bei sehr kleinen Ansaugdrücken, ein sehr kleiner pV-Durchfluss besteht (im Hochvakuum- oder Ultrahochvakuumbereich). Das Verfahren basiert auf der Bestimmung des Verhältnisses der Drücke in einem Doppelkammermessdom, in dem die beiden Kammern durch eine Wand mit einer Kreisblende getrennt sind. Das dritte Verfahren zur Messung des Volumenstroms (das Auspumpverfahren) ist gut für automatisierte Messungen geeignet. Grundlage ist die Evakuierung eines großen Behälters. Der Volumenstrom errechnet sich aus den beiden Drücken zu Beginn und zum Ende eines Auspumpintervalls und dem Volumen des Messdoms. Verschiedene Parameter, wie zum Beispiel Leck- und Desorptionsraten, Abkühlung des Gases durch eine nahezu isentrope Expansion während des Auspumpintervalls und der durch Molekularströmung bei niedrigen Drücken ansteigende Strömungswiderstand in der Verbindungsleitung zwischen Messdom und Pumpe, beeinflussen die Ergebnisse der Druckmessungen und den sich daraus ergebenden Volumenstrom. Die Auswahl der erforderlichen Messverfahren findet in Abhängigkeit des zu messenden Vakuumpumpentyps statt, so ist zum Beispiel die Messung des kritischen Vorvakuumdrucks nur bei Vakuumpumpen erforderlich, die eine Vorvakuumpumpe benötigen. Sämtliche an Vakuumpumpen gemessenen Daten, die nicht in diesem Teil von ISO 21360 festgelegt sind (zum Beispiel Messung des Energieverbrauchs), sind in der spezifischen Pumpennorm festgelegt. Diese zweite Ausgabe der DIN ISO 21360-1 ersetzt die DIN ISO 21360-1:2016, und beinhaltet folgende Änderungen:

• Die Anmerkung in 3.3 wurde gestrichen beziehungsweise geändert;
  • K0 in 3.7 wurde korrigiert;
    • 3.9 die Definition des Volumens wurde in "ist das Volumen des transportierten Gases" geändert;
      • Abbildung 1 wurde berichtigt;
        • Abbildung 2 wurde berichtigt;
          • 5.2.7: Änderung in "für mindestens 60 Sekunden" anstelle von "für die folgende Minute". Dieses Dokument wurde durch den Arbeitsausschuss NA 060-07-01 AA "Vakuumpumpen" des Fachbereiches "Vakuumtechnik" im DIN-Normenausschuss Maschinenbau (NAM) erarbeitet. Es ist die deutsche Übersetzung der Internationalen Norm ISO 21360-1:2020. Die ISO 21360-1 wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 112 Vacuum technology erstellt

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Änderungsvermerk

Gegenüber DIN ISO 21360-1:2016-09 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Die Anmerkung in 3.3 wurde gestrichen bzw. geändert; b) K₀ in 3.7 wurde korrigiert; c) 3.9 die Definition des Volumens wurde in "ist das Volumen des transportierten Gases" geändert; d) Bild 1 wurde berichtigt; e) Bild 2 wurde berichtigt; f) 5.2.7: Änderung in "für mindestens 60 Sekunden" anstelle von "für die folgende Minute".

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 060-07-01 AA - Vakuumpumpen (SpA ISO/TC 112/WG 1)  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 112/WG 1 - Vakuumpumpen