DIN-Normenausschuss Maschinenbau (NAM)
DIN ISO 3567
Vakuummeter - Kalibrieren von Vakuummetern durch direkten Vergleich mit einem Bezugsnormal
Vacuum gauges - Calibration by direct comparison with a reference gauge
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument definiert die physikalischen, technischen und metrologischen Bedingungen, die erfüllt werden müssen, wenn Vakuummeter durch den Vergleich mit einem Bezugsnormal kalibriert werden. Aus diesen Bedingungen wird abgeleitet, wie ein Vakuumsystem zu diesem Zweck konstruiert werden muss. Dieser Norm-Entwurf deckt die Kalibrierung aller Arten von Vakuummetern ab. Viele bestehen aus mehreren Teilen, typischerweise aus dem Messkopf, Kabel, der Versorgungseinrichtung und einer Ausleseeinheit. Diese Messkette als Ganzes wird als Kalibrierobjekt angesehen. Wenn nur der Messkopf, das heißt der Teil des Vakuummessgeräts, der direkt mit dem zu messenden Vakuum in Kontakt ist, kalibriert wird, müssen alle Einstellungen und Umgebungsbedingungen so aufgezeichnet werden, dass der Nutzer des Messkopfs seine Messungen unter den gleichen Bedingungen wie bei der Kalibrierung ausführen kann. Das Bezugsnormal ist im Regelfall ein auf ein Vakuumprimärnormal oder entsprechendes Nationales Normal rückgeführtes Messgerät, versehen mit einem Kalibrierschein nach ISO/IEC 17025, oder in seltenen Fällen ein absolut messendes Vakuummessgerät, welches auf das SI rückgeführt ist und dessen Messwert eine Unsicherheit beigeordnet werden kann. Dieses Dokument gibt keine Anweisungen, wie mit Vakuummetern im Detail zu verfahren ist, sei es als Bezugsnormal oder als Kalibrierobjekt. Es ist beabsichtigt, diese Anweisungen in weiteren Normen niederzulegen. Dieser Norm-Entwurf beinhaltet die Deutsche Fassung der vom Technischen Komitee ISO/TC 112 "Vacuum technology" ausgearbeiteten ISO 3567:2011. Die nationalen Interessen bei der Erarbeitung werden vom Ausschuss NA 060-07-02 AA "Vakuummessgeräte" im Fachbereich "Vakuumtechnik" des Normenausschusses Maschinenbau (NAM) im DIN wahrgenommen. Vertreter der Hersteller und Anwender der Vakuumtechnik sowie der Berufsgenossenschaften sind an der Erarbeitung beteiligt.
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN 28418-1:1976-05, DIN 28418-2:1978-09 und DIN 28418-3:1980-08 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Für die Kalibrierkammer wird eine Symmetrieanforderung gestellt (6.1.b); b) Das Volumen der Kalibrierkammer muss nur 20 mal (früher 50 mal) größer als die Summe aller Volumen der angeschlossenen Vakuummessgeräte sein; Der Restgasdruck, jetzt Basisdruck genannt, darf 10 % (früher 2 %) des niedrigsten Kalibrierdrucks nicht überschreiten, damit auch Ionisationsvakuummeter bis 10-6 Pa ohne allzu große Anforderungen an das Vakuumsystem kalibriert werden können; c) Es werden Bedingungen für die Bezugsnormale angegeben; d) Es werden Bedingungen für eine durch das Verfahren bedingte Messunsicherheit angegeben; e) Für die Messunsicherheit gibt es einen eigenen Abschnitt 7.3.
